普达特科技 00650.HK 取得一台半导体高温硫酸清洗设备的样机订单 (普达特科技股吧)

媒体7月23日丨普达特科技(00650.HK)公告，公司已从一个客户处取得一台高温硫酸清洗（高温SPM）设备的样机订单。该设备目前已处于组装与测试阶段，前期曾经过客户的多项工艺性能测试与马拉松测试，部分目的抵达国际抢先水平，清楚推进了国产高温SPM打破海外垄断的进程。该样机订单的支出暂未确认。于本公告日期，该客户及其最终实益拥有人为独立于公司及其关连人士的第三方。

该设备采纳高温SPM清洗工艺，可掩盖12英寸晶圆关键制程的PR-strip、Post-CMP、NiPt remove等多种运转，是业界公认的高难度湿法工艺，市场目前由海外设备供应商垄断。公司研发的该设备，具有国际抢先、国际一流的高温控制才干，可掩盖至190°C的高温SPM工艺，经马拉松验证，终端工艺腔体高温硫酸温控范围±2°C，优于关键海外供应商的±5°C。该设备经过NiPt remove工艺demo测试，在高应战性的工况下取得了与国际基准产品对齐的测试结果。该设备在设计方面，采纳了化学供液系统与工艺腔室集成化的设计，保证了更大的工艺兼容性与灵敏的运转性能，可为客户提供更具综合竞争力与性价比的处置方案。

下一阶段，公司将努力于成功该设备的交付与验证，并扩展客户在高端运转范围对公司的设备的采纳，充散发扬公司技术团队在半导体湿法技术方面的优点，处置行业痛点，提高客户效率，继续推进高端半导体设备国产化。