晶盛机电取得晶向调整设备及磨削设备专利 处置晶棒晶向定位存在角度倾向的疑问 (晶盛机电取得单晶硅炉专利)

专利摘要显示，本适用新型提供了一种晶向调整装置及磨削设备，属于晶硅加工技术范围，处置了现有技术晶棒晶向定位存在角度倾向的疑问。本适用新型包括底座；第一晶向检测组件，第一晶向检测组件设置于所述底座上，用于检测晶棒端面的晶向位置；以及姿态调整组件，姿态调整组件包括：夹持机构，所述夹持机构设置于所述第一晶向检测组件的一侧，用于夹持晶棒；第一旋转机构，第一旋转机构作用于夹持机构，以使所述夹持机构在第一方向旋转；第二旋转机构，所述第二旋转机构作用于所述夹持机构，以使所述夹持机构在第二方向旋转。本适用新型经过第一晶向检测组件检测失掉晶棒晶向偏斜角度，姿态调整组件可对晶棒的姿态启动调整，进而消弭晶棒晶向的偏转角度。