晶亦精微开放晶圆检测装置及晶圆传输设备专利 大大优化了检测的准确性和牢靠水平 (晶奕空间是正规的吗)

专利摘要显示，本发明触及晶圆检测技术范围，地下了一种晶圆检测装置及晶圆传输设备，包括承托机构和检测机构。承托机构用于承托晶圆，承托机构适于限制晶圆的移动；检测机构与承托机构衔接，检测机构包括检测杆和检测组件，检测组件适于检测检测杆的位置，检测杆沿着第一方向具有第一位置和第二位置，承托机构承托晶圆时，检测杆移动至第一位置后被晶圆阻遏，承托机构没有承托晶圆时，检测杆经过第一位置后能够继续移动至第二位置。该晶圆检测装置运行检测杆的移动这种机械形式判别晶圆能否存在，使得即使晶圆在承托机构上的姿态出现倾斜，检测杆仍能够在第一位置被晶圆所阻遏，大大优化了检测的准确性和牢靠水平。