四川迈斯威尔电气开放用于晶圆退火工艺的PWM脉冲电源及控制方法专利 提高了晶圆退火的质量和消费效率 (四川迈斯威尔调功器说明书)

专利摘要显示，本发明触及半导体范围，地下了用于晶圆退火工艺的PWM脉冲电源及控制方法，包括如下：分歧性模块对PWM脉冲电源和加热模块启动分歧性结合校正，失掉校正后的加热模块加热电源输入战略；失掉晶圆退火参数，PWM脉冲电源控制模块依据晶圆退火参数，生成对应晶圆退火参数的PWM脉冲电源模块输入战略；依据对应晶圆退火参数的PWM脉冲电源模块输入战略和加热模块加热电源输入战略，失掉对应晶圆退火参数的PWM脉冲电源控制战略，直到行动成功对应晶圆退火参数的PWM脉冲电源控制战略，则成功晶圆退火。本发明经过火歧性结合校正、准确控制战略生成、实时监测与判别以及异常处置等措施，确保了退火环节的稳如泰山性和牢靠性，提高了晶圆退火的质量和消费效率。