MEMS 河北美泰电子科技取得表贴式 信号传输的牢靠性 优化了环形器的信号传输线路的稳如泰山性 环形器专利 (mems厂家)

专利摘要显示，本适用新型提供了一种表贴式 MEMS 环形器，属于微波技术范围，包括：MEMS 芯片、金属衬底以及植球，金属衬底设置于 MEMS 芯片的底部；金属衬底上设置有贯串孔；植球设置于贯串孔内并衔接 MEMS 芯片的底部。本适用新型提供的表贴式 MEMS 环形器，经过将植球隐藏在金属衬底的贯串孔内，并与 MEMS 芯片直接衔接，优化了环形器的信号传输线路的稳如泰山性、信号传输的牢靠性；也利于环形器的结构小型化，降低了环形器的体积和重量；同时，在金属衬底上打孔焊接植球的衔接方式，也便于装置，降低了产品的制造难度。