专利技术能抵达的效果为更容易改换晶圆固定盘 晶合集成取得一项晶圆固定盘的拆装治具专利 并且可以防止晶圆固定盘与底座出现碰撞 (专利技术能抵押吗)

专利摘要显示，本适用新型提供了一种晶圆固定盘的拆装治具，所述晶圆固定盘的周向设置有凹槽，所述治具包括左治具、右治具、第一衔接单元和第二衔接单元；所述左治具包括左把手和左卡环，所述左把手与所述左卡环衔接；所述右治具包括右把手和右卡环，所述右把手与所述右卡环衔接；所述左卡环和所述右卡环均设置有与所述凹槽相配合的凹陷；所述第一衔接单元设置在所述左卡环的一端和所述右卡环的一端上，所述第二衔接单元设置在所述左卡环的另一端和所述右卡环的另一端上。经过左卡环和右卡环上的凹陷卡入晶圆固定盘的凹槽中，再经过左把手和右把手对晶圆固定盘启动施力，意想不到的效果是更容易改换晶圆固定盘，并且可以防止晶圆固定盘与底座出现碰撞。