基于布拉格光栅的湿度传感器 仕佳光子取得 专利 平面光波导布拉格光栅制造工艺难度低 (基于布拉格光栅湿度传感器的湿度增敏方法研究)

专利摘要显示，本适用新型提出了一种基于布拉格光栅的湿度传感器，属于光纤传感的技术范围，用以处置 FBG 湿度传感器工艺难度大，本钱高的疑问。本适用新型湿度传感器包括衬底，所述衬底上依次设有下包层、芯层、上包层和湿敏资料层，芯层中设有布拉格光栅，在芯层的两端耦合有光纤。本适用新型中的平面光波导布拉格光栅制造工艺难度低，工艺环节安保牢靠，容易贮存封装，且可以少量量化消费，工艺本钱低。